日本芝浦機(jī)電shibaura皮拉尼真空壓力表
日本芝浦機(jī)電shibaura皮拉尼真空壓力表GPW系列
該產(chǎn)品是皮拉尼壓力表，可以測(cè)量從大氣壓到5×10 -2 Pa的很大范圍。
此外，該真空計(jì)的操作和顯示已從常規(guī)控制器上刪除，并且功能已縮小到必要的低限度，從而可以“降低成本"和“節(jié)省空間"。
GPW系列的特點(diǎn)
廣域測(cè)量：可以從大氣壓到5×10 -2 Pa進(jìn)行廣域測(cè)量。
省線：通過集成傳感器和控制器實(shí)現(xiàn)省線，節(jié)省空間和省電
可見度更高：配備可確認(rèn)異常的LED
一鍵式調(diào)節(jié)：一鍵式可調(diào)節(jié)大氣壓和零點(diǎn)
可維護(hù)性：易于更換探頭
燈絲材料/鉑（Pt）：燈絲材料使用具有高耐腐蝕性的鉑。
測(cè)量值輸出信號(hào)：壓力為0?10V對(duì)數(shù)輸出標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
改善的抗沖擊性：設(shè)計(jì)具有高抗沖擊性
控制輸出信號(hào)：可輸出2個(gè)設(shè)定點(diǎn)（GPW-1）
串行通訊規(guī)格：可以進(jìn)行RS-232C / RS-485通訊（僅GPW-2）
符合標(biāo)準(zhǔn)：符合CE標(biāo)準(zhǔn)
用途
用于各種制造設(shè)備（例如太陽能電池，F(xiàn)PD，半導(dǎo)體和電子零件）的低真空區(qū)域中的過程控制
用于各種工業(yè)設(shè)備（例如熔爐）的低真空區(qū)域中的過程控制
用于具有多個(gè)處理腔室的各種制造設(shè)備的低真空區(qū)域中的過程控制，例如在線型和單晶片型
日本芝浦機(jī)電shibaura皮拉尼真空壓力表GPW系列
規(guī)范
| 模型 | GPW-1 | GPW-2 | |
|---|---|---|---|
| 可連接探針 | 之一 | ||
| 自適應(yīng)探頭 | SWP-16（NW-16） | ||
| 測(cè)量壓力范圍 | 5.0×10 -2?1.0 ×10 5帕 | ||
| 測(cè)量精度* | 1×10 -1至1××10 4 Pa：±10％ 5.0×10 -2至1.0×10 -1 Pa，1×10 4 Pa至1×10 5 Pa：±20％ | ||
| 重復(fù)性 | 1 x 10 -1 Pa至1 x 10 4 Pa：±2％ | ||
| 采樣時(shí)間 | 50毫秒5次移動(dòng)平均處理 | ||
| 測(cè)量值輸出 | 輸出電壓DC 0?10 V | ||
| 壓力指示（對(duì)數(shù)輸出）1.7 V?8.0 V，1 V /位 | |||
| 更新時(shí)間 | 50毫秒 | ||
| 控制輸入信號(hào) | 集電極開路輸入，負(fù)邏輯 ADJ調(diào)整（零點(diǎn)調(diào)整，大氣壓調(diào)整） | -- | |
| 控制輸出信號(hào) | 集電極開路輸出 負(fù)邏輯[額定值：30 VMAX，50 mAMAX，70 mW] 錯(cuò)誤信號(hào) 設(shè)定點(diǎn)1、2 | -- | |
| 監(jiān)控設(shè)定點(diǎn) | 設(shè)定點(diǎn)1，2：0至10 V日志輸出 | -- | |
| 串行通訊規(guī)格 | -- | RS232C / RS485 | |
| LED顯示屏 | 電源/錯(cuò)誤：電源和錯(cuò)誤指示燈 | ||
| SET-1：設(shè)定值1 LED SET-2：設(shè)定值2 LED | -- | ||
| 燈絲材料 | 鉑 | ||
| 工作溫度極限 | 10-40°攝氏度 | ||
| 工作濕度范圍 | 15至80％（但無凝結(jié)） | ||
| IP防護(hù)等級(jí) | IP30（傳感器單元） | ||
| 安裝姿勢(shì) | 沒有限制 | ||
| 電源電壓 | DC 18 V?30 V，2 W（開機(jī)時(shí)4.8 W） | ||
| I / O連接器 | D-sub15針（M2.6螺釘） | ||
| 大眾 | 150克（含SWP-16） | ||
| 外形尺寸（電源部分）W xD x H（毫米） | 70 x 46 x 28 | ||
| 符合標(biāo)準(zhǔn) | CE認(rèn)證 | ||
*大氣壓調(diào)整和零點(diǎn)調(diào)整后的精度。
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