非接觸式膜厚測量系統(tǒng)FF8的特點
特征
測量樣品的反射率(干涉波形),并通過FFT(快速傅里葉變換)或其他方法分析薄膜厚度值。
除了薄膜厚度測量外,還可以測量薄膜和玻璃厚度以及折射率。 選項包括多層薄膜、曲線擬合、顯微鏡、映射測量、顏色測量和組分濃度分析。
測量數(shù)據(jù)可以保存為文件,以后重新分析。
由于還可以制造連續(xù)測量功能、橫移機構和數(shù)據(jù)通信功能,因此也可以用作在線薄膜厚度測量。
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